28일 대한광통신 홈페이지에 따르면 대한광섬유의 합성석영 소재 개발과 상용화 성공했다.
이에 따라 그동안 해외 수입에 전적으로 의존하던 포토리소그래피의 블랭크 마스크 기판과 에칭 및 증착용 반도체 부품 소재의 국신화를 완성하고 국내 반도체 공급망을 완성하는 등 업계에 큰 변화를 가져올 것으로 회사측은 내대보고 있다.
국내 유일의 합성석영 소재 제조 및 공급업체인 대한광통신은 국내 반도체 선도 기업과의 공급망 강화에 박차를 가할 예정이다.
석영유리기판 위에 금속박막 필름이 증착되고 그 위에 감광액이 도포되는 형태이다. 이를 이용해 노광, 식각, 검사, 수리와 같은 일련의 패턴 형성 과정을 통해 포트마스크가 형성된다.
포토 리소그래피(photolithography)는 반도체 8대 공정 중 하나로, 설계도를 기반으로 한 mask 패턴을 웨이퍼에 그려넣는 과정이다. 매우 정밀한 수준의 장비가 요구되기 때문에 리소그래피 장비를 자체 제작할 수 있는 기업은 그리 많지 않다.
[글로벌에픽 증권팀 박진현 CP / epic@globalepic.co.kr]
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