![[특징주] 에프엔에스테크, 이재명·김문수 반도체 국산화 정책...세계 최고 초순수 기술 개발 성공](https://cgeimage.commutil.kr/phpwas/restmb_allidxmake.php?pp=002&idx=3&simg=2025050710161608696abe7dc9896125131692.jpg&nmt=29)
7일 업계에 따르면 에프엔에스테크는 반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되는 고순도 화학약품 공급장치(Chemical Delivery System), 초순수 시스템, 웨이퍼 세정 장비, 슬러리 공급장치, 배기 가스 처리 장비 등 다양한 공정장비를 개발·공급하고 있다. 이 중에서도 초순수 및 웨이퍼 세정 장비는 반도체 수율과 직결되는 정밀 핵심 장비로, 기술 자립이 어려운 분야로 알려져 있다.
초순수 설비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 세정하거나, 화학약품을 희석할 때 사용되는 고순도 물을 생성하는 장치로, 공정 내 오염 입자를 1조분의 1 수준까지 제거할 수 있어야 한다. 에프엔에스테크는 이러한 고난도 기술을 국산화하여 국내 주요 반도체 제조사에 납품하고 있으며, 자동화 시스템과 모듈화 설계를 통해 안정성과 유지보수 효율성도 확보하고 있다.
웨이퍼 세정 장비의 경우, F&ST는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정 이후 발생하는 오염물 및 슬러리를 제거하는 Batch-type 및 Single Wafer 세정 시스템을 개발해 적용 중이다. 해당 장비는 반도체 회로선 폭이 10nm 이하로 줄어드는 초미세 공정 환경에서도 정밀한 세정 능력을 제공하며, 국산화율 제고에 기여하고 있다.
[글로벌에픽 증권팀 박진현 CP / epic@globalepic.co.kr]
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