테크로스 워터앤에너지, 초순수 국산화 사업 총괄…반도체 핵심 수처리 기술 자립 추진

[글로벌에픽 이성수 CP] 환경∙에너지 전문 EPC 기업 테크로스 워터앤에너지가 반도체 산업 핵심 인프라인 초순수 생산공정 국산화를 위한 국책과제 총괄주관기관으로 선정됐다. 회사는 이번 사업을 통해 해외 기술 의존도가 높은 초순수 시장에서 기술 자립과 상용화를 동시에 추진하며 국내 반도체 공급망 안정화에 기여한다는 방침이다.

테크로스 워터앤에너지는 지난 15일 기후에너지환경부 산하 환경산업기술원과 ‘초순수 생산공정 전 과정 국산화 기술개발’ 사업 협약을 체결했다고 밝혔다. 이번 과제는 초순수 생산에 필요한 설계, 시공, 운영, 핵심 설비 전반을 국산 기술로 구축하는 프로젝트다.

초순수는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 세정 등에 사용되는 초고순도 산업용수다. 극미량의 불순물만으로도 반도체 수율과 품질에 영향을 줄 수 있어 반도체 생산 안정성과 직결되는 핵심 인프라로 평가된다. 현재 글로벌 초순수 시장은 일본과 미국, 유럽 기업 중심으로 형성돼 있다.

이번 사업은 총 215억 원 규모의 정부출연금을 기반으로 향후 5년간 진행된다. 정부가 앞선 선행 과제를 통해 확보한 70% 수준의 국산화율을 넘어, 이번에는 전 공정 기준 90% 이상의 국산화율 달성을 목표로 하고 있다.
특히 반도체 초미세화 흐름에 대응하기 위해 더욱 강화된 수질 기준과 상시 안정적 공급 체계 확보가 핵심 과제로 제시됐다. 실제 산업 현장 적용 가능성을 검증하기 위해 6개월간 무사고∙무중단 운영 실증도 함께 진행될 예정이다.

테크로스 워터앤에너지는 이번 사업에서 수요처 맞춤형 통합 설계를 담당하며 프로젝트 전반을 총괄 관리한다. 과제는 국내 초순수 분야 산∙학 전문가들이 참여하는 ‘K-초순수 팀 코리아’ 컨소시엄 형태로 운영돼 국내 기술 역량을 집약하는 프로젝트로 추진된다.

회사는 반도체, 디스플레이, 바이오 산업 분야를 중심으로 고순도 산업용수 공급과 하∙폐수 처리, 재이용 시스템 구축 경험을 축적해왔다. EPC 기반의 설계∙조달∙시공 역량을 바탕으로 첨단 산업 인프라 시장 공략에도 속도를 내고 있다.

테크로스 워터앤에너지 관계자는 “LG디스플레이, SK실트론, 해성디에스, LG이노텍 등 주요 기업 프로젝트를 통해 초순수 설비 설계와 시공 경험을 축적해 왔다”며 “반도체 수율과 직결되는 핵심 인프라인 만큼 그동안 확보한 기술력과 노하우를 기반으로 안정적인 국산화 체계를 구축해 나가겠다”고 밝혔다.

[글로벌에픽 이성수 CP / wow@globalepic.co.kr]