에드워드 코리아는 ‘Enabling Environments Where Innovation Thrives’라는 슬로건 아래, 반도체 전 공정에 걸쳐 토탈 솔루션을 제공하며 산업 내 지속 가능한 성장을 지원하는 독자적 기술을 선보일 계획이다.
이번 전시회에서는 기존 제품 대비 크기를 30% 줄이고 전력 소비를 최대50%까지 절감한 저전력 고효율 펌프인 ‘Ganymede’ 드라이 펌프와 이온 임플란트 공정에서 요구되는 높은 수소 펌핑 성능을 기반으로 공정 생산성과 안정성이 뛰어난 On-Board® IS 320F XVS 크라이오 펌프를 선보인다.
또한 동급 최고 수준의 펌핑 속도와 낮은 소비 전력을 기반으로 에너지 절감을 실현한 ‘STP-iXA5507BV/BV3’ 터보 분자펌프와 EUV lithography 장비를 지원하는 ‘EUV Vizeon’도 함께 선보일 예정이다.
에드워드의 지속 가능한 제조 기술은 2026년 2월 11일부터 13일까지 서울 코엑스 D홀 전시장에서 만나볼 수 있다.
[글로벌에픽 이수환 CP / lsh@globalepic.co.kr]
<저작권자 ©GLOBALEPIC 무단 전재 및 재배포 금지>
